MCPD-9800是日本大冢電子OTSUKA 推出的高速多通道光譜儀是生產(chǎn)線制程監(jiān)控的主力設備?玉崎科學儀器現(xiàn)貨

MCPD 系列是日本大冢電子（OTSUKA） 推出的高速多通道光譜儀，核心用于實時、在線、多點的薄膜厚度與光學特性監(jiān)測，是生產(chǎn)線制程監(jiān)控的主力設備大塚科技股份有限公司。

一、核心型號與定位（2026 *）

• MCPD-9800：旗艦高端型
  • 電子冷卻 CCD（1024ch）、*低 5ms采樣、寬動態(tài)、低雜散光
  • 波長：220~1600nm（多版本）
  • 適用：半導體 / 光學薄膜、高精度在線、量子效率
• MCPD-6800：標準通用型大塚科技股份有限公司
  • 熱電冷卻 PDA（512ch）、16ms~65s采樣
  • 波長：220~1000nm（多版本）
  • 適用：通用涂布 / 鍍膜、卷對卷薄膜、產(chǎn)線常規(guī)質(zhì)控大塚科技股份有限公司

二、薄膜厚度測量核心參數(shù)

• 測量原理：分光反射干涉法（非接觸、無損）大塚科技股份有限公司
• 膜厚范圍：65nm ~ 92μm（SiO?換算，依波長版本）
• 層數(shù)：單層～多層膜（*支持約 10 層）
• 測量速度：5ms / 次（9800）；16ms / 次（6800）
• 通道配置：單 / 多通道（*多可擴展至 8 點以上同時監(jiān)測）
• 光斑大小：標配 φ1~5mm；可配顯微探頭至50μm級

三、波長版本（檢測器）

四、系統(tǒng)構成（膜厚監(jiān)測）

1. 主機：MCPD-9800 / 6800 光譜儀
2. 光學單元：
   • 光纖探頭（耐彎曲、長距離）大塚電子(蘇州)有限公司
   • 反射 / 透射測量頭
   • 在線吹掃、防污、耐高溫套件
3. 軟件：
   • 實時膜厚、折射率、反射率計算大塚科技股份有限公司
   • 制程數(shù)據(jù)記錄、SPC 管控、報警
   • 多點分布 Mapping、趨勢分析

五、典型應用場景

• 半導體 / 顯示：CVD/PVD 鍍膜、光刻膠、OLED 成膜、濾光片在線監(jiān)控
• 光學 / 功能膜：AR/AF 膜、硬化涂層、偏光片、卷對卷薄膜生產(chǎn)線
• 汽車 / 建材：漆面、車窗膜、真空鍍膜、玻璃鍍膜在線質(zhì)控
• 新能源：光伏減反膜、電池薄膜、封裝膜厚度均勻性監(jiān)測

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