MCPD-9800是日本大冢電子OTSUKA 推出的高速多通道光譜儀是生產(chǎn)線制程監(jiān)控的主力設(shè)備?玉崎科學(xué)儀器現(xiàn)貨

MCPD 系列是日本大冢電子（OTSUKA） 推出的高速多通道光譜儀，核心用于實(shí)時(shí)、在線、多點(diǎn)的薄膜厚度與光學(xué)特性監(jiān)測(cè)，是生產(chǎn)線制程監(jiān)控的主力設(shè)備大塚科技股份有限公司。

一、核心型號(hào)與定位（2026 *）

• MCPD-9800：旗艦高端型
  • 電子冷卻 CCD（1024ch）、*低 5ms采樣、寬動(dòng)態(tài)、低雜散光
  • 波長(zhǎng)：220~1600nm（多版本）
  • 適用：半導(dǎo)體 / 光學(xué)薄膜、高精度在線、量子效率
• MCPD-6800：標(biāo)準(zhǔn)通用型大塚科技股份有限公司
  • 熱電冷卻 PDA（512ch）、16ms~65s采樣
  • 波長(zhǎng)：220~1000nm（多版本）
  • 適用：通用涂布 / 鍍膜、卷對(duì)卷薄膜、產(chǎn)線常規(guī)質(zhì)控大塚科技股份有限公司

二、薄膜厚度測(cè)量核心參數(shù)

• 測(cè)量原理：分光反射干涉法（非接觸、無損）大塚科技股份有限公司
• 膜厚范圍：65nm ~ 92μm（SiO?換算，依波長(zhǎng)版本）
• 層數(shù)：單層～多層膜（*支持約 10 層）
• 測(cè)量速度：5ms / 次（9800）；16ms / 次（6800）
• 通道配置：單 / 多通道（*多可擴(kuò)展至 8 點(diǎn)以上同時(shí)監(jiān)測(cè)）
• 光斑大小：標(biāo)配 φ1~5mm；可配顯微探頭至50μm級(jí)

三、波長(zhǎng)版本（檢測(cè)器）

四、系統(tǒng)構(gòu)成（膜厚監(jiān)測(cè)）

1. 主機(jī)：MCPD-9800 / 6800 光譜儀
2. 光學(xué)單元：
   • 光纖探頭（耐彎曲、長(zhǎng)距離）大塚電子(蘇州)有限公司
   • 反射 / 透射測(cè)量頭
   • 在線吹掃、防污、耐高溫套件
3. 軟件：
   • 實(shí)時(shí)膜厚、折射率、反射率計(jì)算大塚科技股份有限公司
   • 制程數(shù)據(jù)記錄、SPC 管控、報(bào)警
   • 多點(diǎn)分布 Mapping、趨勢(shì)分析

五、典型應(yīng)用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體 / 顯示：CVD/PVD 鍍膜、光刻膠、OLED 成膜、濾光片在線監(jiān)控
• 光學(xué) / 功能膜：AR/AF 膜、硬化涂層、偏光片、卷對(duì)卷薄膜生產(chǎn)線
• 汽車 / 建材：漆面、車窗膜、真空鍍膜、玻璃鍍膜在線質(zhì)控
• 新能源：光伏減反膜、電池薄膜、封裝膜厚度均勻性監(jiān)測(cè)