Heidenhain海德漢長度計375133-01參考圖

VICKERS CKI-80 40A
VICKERS CKI-80 6.3A
VICKERS DG4V-3-6C-M-U-H7-60
VICKERS PN507848 24V DC 30W
VICKERS PVB20-R5-20-CM-11
VICKERS DG4V-3-30C-HCH5-60
VICKERS DG4V-3-3C-HCH5-60
VICKERS DG4V-3S-6C-HC5-60
VICKERS DG4V-33-0C-HCH5-60P/0
介紹:
儀器包括精度光柵裝置、密珠導(dǎo)軌的測量桿裝置、高性能的高速采樣等。其中,高精度光柵裝置通常采用玻璃基體(如Zerodur?玻璃陶瓷)的增量式光柵尺,柵距有4 μm、10 μm、20 μm等多種規(guī)格(對應(yīng)不同系列產(chǎn)品)。
長度計采用精度光柵作為測量基準(zhǔn),選用玻璃基體的增量式光柵尺,所以測量支持大測量范圍,對震動和沖擊不敏感,并具有確定的溫度特性。
增量光柵尺的掃描方法為光電掃描,因此無機(jī)械接觸也無磨損。除了主流的增量式光電掃描,部分高精度系列(如CERTO系列)采用干涉掃描原理,以實(shí)現(xiàn)高的系統(tǒng)精度。 電子設(shè)備對輸出信號進(jìn)行細(xì)分,可實(shí)現(xiàn)如0.01 μm、0.05 μm(5 nm)等納米級的極小測量步距,從而確保一個信號周期內(nèi)微小位置誤差。
ID:360502-02

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